Composición de control de los grabadores húmedos para la producción de obleas
Los procesos químicos húmedos se utilizan en muchas aplicaciones, como la producción de semiconductores y células solares. La supervisión mediante el análisis continuo en tiempo real durante el proceso químico húmedo es necesaria para optimizar el control del proceso, así como los resultados económicos, medioambientales y de producción. Los refractómetros en línea de SCHMIDT + HAENSCH pueden lograr este control de proceso. En la microfabricación, el grabado se utiliza para eliminar químicamente las capas de una oblea. El grabado es un proceso importante y cada oblea se graba muchas veces durante el proceso de producción. Los grabadores húmedos habituales son el ácido nítrico combinado con ácido fluorhídrico o ácido clorhídrico, el ácido sulfúrico mezclado con peróxido de hidrógeno y el ácido fosfórico. Los refractómetros de SCHMIDT + HAENSCH son la herramienta perfecta para asegurar la composición correcta de los grabados húmedos y evitar errores durante la fabricación de obleas. Los refractómetros de proceso en línea (iPRs) de SCHMIDT + HAENSCH proporcionan una monitorización en línea y un control de la concentración/dosificación directamente en el flujo del proceso. Gracias a los interruptores digitales integrados, los iPR pueden controlar a distancia bombas y válvulas. Los refractómetros SCHMIDT + HAENSCH están programados para responder a las señales, permitiendo un control directo del proceso en tiempo real y automatizaciones sencillas (por ejemplo, sistemas de dosificación simples) sin necesidad de un control adicional de la línea de alimentación.
Optimización de los procesos químicos húmedos de los semiconductores
Muchos productos químicos húmedos no pueden reciclarse, reutilizarse o eliminarse fácilmente. Se desea un uso eficiente de los productos químicos húmedos por razones económicas y medioambientales. Un desperdicio mínimo de estos productos químicos húmedos mientras se obtienen resultados de producción de alta calidad puede lograrse utilizando los refractómetros de proceso en línea de SCHMIDT + HAENSCH.
