Composition de contrôle des agents de gravure par voie humide pour la production de tranches de silicium
Les procédés chimiques humides sont utilisés dans de nombreuses applications, notamment la production de semi-conducteurs et de cellules solaires. La surveillance au moyen d’une analyse continue en temps réel pendant le processus chimique humide est nécessaire pour optimiser le contrôle du processus ainsi que les résultats économiques, environnementaux et de production. Les réfractomètres de processus en ligne SCHMIDT + HAENSCH permettent de réaliser ce contrôle de processus. En microfabrication, la gravure est utilisée pour enlever chimiquement des couches d’une plaquette. La gravure est un processus important et chaque tranche est gravée plusieurs fois au cours du processus de production. Les agents de gravure humide courants sont l’acide nitrique combiné à l’acide fluorhydrique ou à l’acide chlorhydrique, l’acide sulfurique mélangé au peroxyde d’hydrogène et l’acide phosphorique. Les réfractomètres SCHMIDT + HAENSCH sont l’outil idéal pour garantir la bonne composition des produits de gravure humide et éviter les erreurs lors de la fabrication des wafers. Les réfractomètres de processus en ligne SCHMIDT + HAENSCH (iPR) permettent de surveiller et de contrôler la concentration/le dosage directement dans le flux de processus. Grâce à des commutateurs numériques intégrés, les iPR peuvent commander à distance des pompes et des vannes. Les réfractomètres SCHMIDT + HAENSCH sont programmés pour répondre à des signaux, ce qui permet un contrôle direct et en temps réel du processus et des automatismes simples (par exemple, des systèmes de dosage simples) sans avoir besoin d’une commande supplémentaire par ligne électrique.
Optimisation des procédés chimiques humides pour les semi-conducteurs
De nombreux produits chimiques humides ne peuvent pas être facilement recyclés, réutilisés ou éliminés. Une utilisation efficace des produits chimiques humides est souhaitée pour des raisons économiques et environnementales. Un gaspillage minimal de ces produits chimiques humides tout en obtenant des résultats de production de haute qualité peut être réalisé en utilisant les réfractomètres de processus en ligne SCHMIDT + HAENSCH.
